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半導体レーザーリペア装置 M320/M325
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■レーザーリペア装置Ｍシリーズをお客様の仕様に合わせた再生装置としてご提供致します。
■レーザーユニット（リフレッシュ）とガルバノユニットの提供を致しましす
■その他の各種部品のご相談も承ります
■ご購入ごのサービス内容
1.フィールドサービス
2.スペアパーツの供給
3.展示ルーム/デモ見学
4.各種改造部品製作
5.初期品質保証
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| ビームポジショナー仕様 |
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| 1. 型式 |
ガルバノメーター･光学系組み台わせ
ポジショニング精度0.5um以下(3σ+|M| （リンクスプリント使用時）
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| 2. フィールドサイズ |
26x26mm(29mm変形円内) |
| 3. スポットサイズ |
4.0〜12μm(1/e2 パワー点) ＠1047nm （プログラマブル可変）
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| 4. レンズクリアランス |
8.7mm (レンズ-チャックトップ間) |
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| レーザー仕様 |
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| 1. 型式 |
ダイオード励起式(DPL)Nd+YLFレーザー （米国LIGHTWAVE社製）
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| 2. 波長 |
標準1047nm （オプションとして、他の波長及びパルス幅が選択可能）
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| 3. 寿命 |
10,000時問以上保証期間は使用開始後１年間 |
| 4. パルス幅 |
約6〜8ns(1/e2パワー点Qレート1KHz、メーカー出荷時測定) ＠1047nm
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| 5. パルススタビリティー |
1.0%rms(Qレート1KHz)以下 ＠1047nm
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| 6. パワー設定 |
0〜7μJ/pulse(初期値) ＠1047nm
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| Ｘ−Ｙテーブル |
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| 1. 型式 |
X/Y/Z/Theta駆動エアーベアリング式 ステップ&リピートテーブル
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| 2. チャックトップ対応サイズ |
4,5,6,8各インチウエハに対応 （導入時にウエハー径を指定）
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