| ① |
装置名称 |
マニュアルプローバー装置 |
| ② |
型 名 |
MODEL ７０５A |
| ③ |
メーカ 名 |
Micronics（取扱店イーエスジェー／ESJ） |
| ④ |
装置台数 |
１式 |
| ⑤ |
インチサイズ |
４”、５”、６”／inch X:180mm Y:220mm |
| ⑥ |
取得年月 |
１９８８年２月 |
| ⑦ |
仕様書／カタログ |
有り |
| ⑧ |
取扱説明書 |
有り |
| ⑨ |
写 真 |
有り |
| ⑩ |
付属品 |
有り マニピュレーター 6pcs（個）
真空ポンプ・エアーポンプ.バキュムSW |
| ⑪ |
装置保管状態 |
温湿度管理保管状態 |
| ⑫ |
購入時に参考価格 |
￥４２０万円 |
| ⑬ |
販売価格 |
応談 |
| ⑭ |
装置状況 |
傷なし、美々装置 |
| ⑮ |
寸 法 |
本体／架台 850×750×1550 70kg |
| ⑯ |
ｓ／ｎ |
33065 |
| 本機の仕様 |
ステージ ：エアーベアリング構造
ステージトラベル：ｘ：180ｍｍ, y:220ｍｍ
ｻﾌﾞｽﾃｰｼﾞトラベル：X：１０ｍｍ、ｙ１０ｍｍ
チャック系 ：4,5,6inch
ウエハー保持 ：バキュウム
Zトラベル調整 ：３．５＋４０ｍｍ
シータ 調整 ：180度 |
|
トップページ
半導体中古装置